上海龙凤1314 shlf用光谱法测试相位光栅层的厚度

上海龙凤1314 shlf按傅里叶光学,当平面波通过光栅时,不同级次的衍射角和强度由光栅而定,根据光栅的衍射频谱可以反推出光栅本身的多种信息.一个新的方法就是选用不同级次的功率谱来测量相位光栅的深度.对3块光栅进行了测试,并给出计算的光栅深度.同时给出6块光栅的测试结果--多级衍射强度,结果表明误差值不大于5%.

作 者： 曹向群 连华 李何立   作者单位： 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,杭州,3l0027  刊 名： 中国激光  ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LASERS  年，卷(期)： 2004 31(z1)  分类号： O438.2  关键词： 相位光栅   测试   衍射谱  

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