近红外波段光子晶体的微细加工方法研究进展

上海龙凤1314 shlf光子晶体及其在光电子领域的应用是目前国际上的研究热点之一,是一种新型的光电子功能材料.在近红外光通讯领域中,光子晶体(对应光子晶体晶格常数为亚微米)有非常重要的应用,可以制作许多以前所不能制作的高性能光学器件.如何制备用于光通讯领域的光子晶体越来越引起广泛关注.本文综述了近红外波段光子晶体的微细加工制备方法的研究进展.

作 者： 汪扬 宋志棠 章宁琳 林成鲁   作者单位： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050  刊 名： 功能材料  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS  年，卷(期)： 2003 34(3)  分类号： O734  关键词： 光子晶体   亚微米   微细加工制备方法  

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